研磨液检测仪跟上时代的步伐

   研磨液检测仪根据欧盟和国标颁布镍释放标准制造，应用范围广泛，配合六角型滚筒金属样品挂架磨料和磨浆，方便实验室人员使用，可通过电脑控制，提供稳定的转速；可顺时针或者逆时针转动。

   研磨液检测仪数码计算机控制，软垫头接触式按钮提供标准的时间及程序调教，全自动设计，能于特定时间转向，预设顺逆各转2.5小时，测试完成后镍释放仪器自动停止。目前，研磨液检测仪技术已经发展成以化学机械抛光机为主体，集在线检测、终点检测、清洗等技术于一体的CMP技术，是集成电路向微细化、多层化、薄型化、平坦化工艺发展的产物，同时也是晶圆由200mm向300mm乃至更大直径过渡、提高生产率、降低制造成本、衬底全局平坦化所必需的工艺技术。

   研磨液检测仪具有动态粒径范围广，检测时间短及重现性高等特点，所以常用来检测的粒径分布特征，激光衍射仪的工作原理是基于不同性质的两个物理量，理论上讲，对于特定粒径的粒子，激光衍射会产生一个明暗相间的衍射环。研磨液检测仪衍射环的位置及相邻光环间的距离与粒子的粒径成反比。但是对于粒径小于2μm的粒子，衍射环就检测不到，此时必须以另一种的方法，该方法描述了一个特定粒子由于各点散射光波的相互干涉导致的大角散射的改变，而这种散射角度的变化不仅取决于粒子粒径与激光波长，还与粒子的吸光性质与折射率有关。

   研磨液检测仪为用户提供可方便、快捷、、可靠的粒径分析，是一台扫频接收机，输入信号与本地振荡信号在混频器变频后，经过一组并联的不同中心频率的带通滤波器，使输入信号显示在一组带通滤波器限定的频率轴上。显然，由于带通滤波器由无源元件构成，频谱分析器整体上显得很笨重，而且频率分辨率不高。